首批20个全国重点实验室（标杆实验室）
实验室重点研究内容：
高端硅基衬底材料：大硅片等
异质集成衬底材料：SOI等
晶圆加工工艺材料
前沿技术研究
晶圆级先进封装材料：底部填充胶、光敏聚酰亚胺、临时键合胶、液态塑封料等
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