首批20个全国重点实验室(标杆实验室)
实验室重点研究内容:
高端硅基衬底材料:大硅片等
异质集成衬底材料:SOI等
晶圆加工工艺材料
前沿技术研究
晶圆级先进封装材料:底部填充胶、光敏聚酰亚胺、临时键合胶、液态塑封料等
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